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| ÐͺŠ| XHMOL-2 | XHMOL-2D | XHMOL-3 |
| ÄڳߴçW*D*H(mm) | 600*500*600 | 600*600*600(Á½Ï䣩 | 600*500*900 |
| Íâ³ß´çW*D*H(mm) | 1060*1240*1550 | 1450*1240*1550 | 1060*1240*1850 |
| ζȹæÄ£ | RT-200¡æ(300¡æ) | ||
| ÔÈ³Æ¶È | ¡À2%(¿ÕÔزâÊÔ£© | ||
| ÉýÎÂʱ¼ä | 15min | 20min | 25min |
| ½øÓîÁ¿ | N2»òClean Air MAX:25L/min | ||
| ÅÅÆø¿Ú | ×Ô¶¯·çÃÅ | ||
| Çå½à¶È | Class100# ,FED-STD-209EÇå½àÆ·¼¶±ê×¼ | ||
| ÏäÌå²ÄÖÊ | ÄÚÏ䣺SUS304#¾µÃæ²»Ðâ¸Ö £» ÍâÏ䣺SS41#¸Ö°å¾·ÀÐâ´¦Öóͷ£ºó¸ßηÛÌ忾·Û | ||
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| µçÁ¦ | AC380V 5KVA | AC380V 12KVA | AC380V 9KVA |
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